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            咨詢(xún)熱線(xiàn)

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            RTP-3系列快速退火爐

            簡(jiǎn)要描述:RTP-3系列快速退火爐,采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù),可實(shí)現對實(shí)驗材料的快速升溫和降溫

            • 產(chǎn)品型號:RTP-3S01
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 更新時(shí)間:2024-05-30
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:113

            詳細介紹

            快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產(chǎn)品,采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù),可實(shí)現對實(shí)驗材料的快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度的溫度控制系統,可達到很好的溫場(chǎng)均勻性,對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

            RTP-3系列快速退火爐主要分為RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分別能處理 1-12 寸樣本。

            應用功能
            快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)
            -離子注入/接觸退火
            -SiAu、SiAL、SiMo合金化
            -太陽(yáng)能電池片鍵合
            -電阻燒結
            -低介電材料熱處理
            -晶體化、致密化
            -材料制備
            提供可控壓力環(huán)境并實(shí)現以上應用提供Vac、lG、02、Gas mixture等氣氛環(huán)境

                RTP-3系列快速退火爐采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù),可實(shí)現實(shí)驗樣品的快速升溫和降溫,完成特定條件下的熱處理工藝。
            支持多種配置選擇,如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)、燈光分區控制、PID 自動(dòng)配置等:可實(shí)現爐壁溫度監視、水冷異常監視、真空度監視、腔體壓力監視等:
            豐富的附件選擇:碳化硅石墨托盤(pán)、石英樣品托架、紅外加熱燈管、石英腔體 /板、TC-Wafer 校準儀等

             

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