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            高低溫真空探針臺

            簡(jiǎn)要描述:DCH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在特殊環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設備??梢詫?shí)現器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。

            • 產(chǎn)品型號:DCH系列
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 更新時(shí)間:2024-05-17
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:139

            詳細介紹

             標準探針臺/DCH系列高低溫真空探針臺

            產(chǎn)品概要
            DCH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在特殊環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設備??梢詫?shí)現器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過(guò)液氮或者壓縮機制冷,可以在防輻射屏內營(yíng)造一個(gè)穩定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導體器件等研究方向具有廣泛運用。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會(huì )凝結在晶圓上,會(huì )導致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。
            高溫無(wú)氧化測試:當晶圓加熱至300°℃,400°C,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現象會(huì )越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過(guò)度氧化會(huì )導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。
            技術(shù)特點(diǎn)
            防輻射屏和熱沉設計;
            降溫速度快,常溫降至 77k<25mins,大大提高測試效率;

            液氮自動(dòng)控制系統,液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度。

            高低溫真空探針臺

             

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